第128章 请叫我小王（4/5）

康驰点了点头，放下东西后走到病房门口，轻轻地敲了敲门，得到了吴利鸿的允许后，才走了进去。

里面的吴利鸿刚放下手中的资料，看到是康驰后，表情有些复杂地对他点了点头：“连你都知道了啊……”

康驰也知道吴利鸿肯定觉得这事有点没面子，所以不想让太多人知道，奈何他的身份特殊，想瞒也瞒不住……

康驰点了点头，没有去问砍经费的事情，只是关心了一下他的身体状况。

“其实就是突然头晕了一下，他们也检查不出什么，还非让我住院观察。”

“嗯，没事就好……多观察观察还是有必要的。”

吴利鸿没有接话，沉默了片刻才问道：“你最近忙什么呢？”

“研究光刻机。”

“光刻机？！”

“嗯，前段时间我去燕京找了张院士，他帮我和常春光所牵了个线。”

“嗯……”吴利鸿沉思了片刻，才开口问道，“你看好dpp路线？”

“也不能说看好吧，只是觉得它比较符合国情。”康驰说完，便转移话题道，“你们所的euv光刻胶，研发到什么阶段了？”

提起光刻胶，吴利鸿的脸色就有些不太好，有些无奈地说道：“目前只能达到28nm的工艺，主要原因还是光刻胶在曝光的时候，产气量一直控制不下来，制程一小，这些气体就会导致图案因显影液的表面张力而倒塌。”

“我们已经确定是光致产酸剂的原因，但无论对它们的主链和侧链基团怎么进行结构改性，还是就是差那么点，硬是拖了一年多还没丝毫进展……”

说到这里，吴利鸿不由叹了口气：“一年烧了二十亿，连个水花也没见着，也难怪上面会对我这么失望……”