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第两百九十九章 过于先进,不便展示(3/5)

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这只是外面的变化,等到进入大门,所有人更是惊讶得眼珠子都要掉出来了!

在内部,又用铝合金做框架,双层玻璃做屏障,盖了一个房中房!

这还没有进入九十年代呢,铝合金这东西是很高大上的,用它来盖玻璃房,可想而知有多么的壕!

“芯片生产车间需要有很高的洁净度,所以我们特意做了这种设计。”倪老笑呵呵地站在门口给众人介绍,虽然他是主要负责研发芯片的,但是整个高科技基地都由他来负责,几个月没见到秦锋这个甩手掌柜,这次见到也很是高兴,更何况还有这么多的客人。

“进门是不是得换鞋?”林老开口。

“不仅仅要换鞋,全身都要穿外套,还要在过渡车间里接受净化。”倪老说道。

“林老,这种地方,你就别进去了。”秦锋听到林老语气中的不满,开口说道:“你这个大老粗也不适合这种地方。”

林老还真是打算抱怨几句的,但是秦锋这样一说,林老白了他一眼:“激将法是吧?我偏偏不上当,老倪,该怎么做就怎么做,咱老林不搞特殊。”

几分钟后,全身穿着白大褂的众人通过过渡车间,清洁了全身之后,进入到了内部的无尘车间。

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芯片的制程已经到了1微米,哪怕有一片灰尘落在芯片上,也可能会造成芯片内部短路,所以,芯片车间对洁净度的要求都是最高的。

双层房间,空调净化过滤系统都有,内部空间干净整洁,不用说一根头发,一个灰尘都没有。

“我们从起始线参观,大家看到的这第一台机器就是单晶炉,它负责把多晶硅冶炼成为单晶硅,拉出来硅棒,然后切片,这套设备是我们国内四十八所研发的。”

虽然芯片是由沙子制造的,但是先进的芯片厂一般都不会从沙子开始冶炼,沙子到粗硅有专门的企业负责,芯片厂只要将多晶硅融化拉单晶,制造出来硅棒就可以了。

这种单晶炉也是很有特色的,下面是个粗圆柱体结构,上面是个细圆柱体,拉出来的单晶硅就从上面抽出来,上面这个圆柱体的内径,就是晶圆的直径,看这种机器的样子,应该是最常见的6英寸硅棒。

一共四台炉子,一字排开,就像是四个大锅炉,看上去很是壮观。

“四十八所是咱们国内主要的半导体设备供应单位,他们以前就在造单晶炉,只是没有这么大的。”贲老看向单晶炉,目光中满是感慨:“等咱们所要更新设备的时候,也从他们那边弄一台!”

“这边是切片机和抛光机,这些机器设备,都是咱们国内四十五所研制的。”倪老继续介绍:“他们原本只有切割三英寸硅棒的设备,接到咱们的订单之后,投入了全部技术骨干力量搞研发,终于按时给咱们研制了出来。加上研发费用,也比从国外采购便宜。”

硅棒拉出来,就是切片变成晶圆,然后打磨,为在上面刻蚀电路做准备。

接下来是低压化学气相淀积、等离子体增强化学气相淀积装置,经过这些装置之后,晶圆表面就覆盖上薄膜材料,等待下一步的刻蚀,这些设备则是首都仪器厂和首都几所大学共同研发出来的。

晶圆经过了这些步骤,完成了准备,就可以上光刻机了。

其他的设备虽然也是高科技,但是要论科技含量,比不上光刻机,这东西是芯片制造的关键。

两台大型光刻机摆在车间的中央,徐教授带着几名技术人员,正在上面忙碌着,秦锋等人过来的时候,依旧没有停下手里的工作。

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